一、平板表示
1、透明導電膜の調製:
ITOターゲット:液晶ディスプレイ、有機発光ダイオードなどのスクリーンを製造するための透明電極であり、導電性と透光性の要求は極めて高く、純度は99.999%以上に達する必要がある。
IZOターゲット:フレキシブルディスプレイとタッチスクリーン電極に適しており、特に折り畳み可能な装置ではITO鄒より性能が優れている。
2、薄膜トランジスタ:金属ターゲットは回路導線層の形成に用いられ、合金ターゲットは磁性素子に用いられる。
応用は約34%を占め、ターゲット材の最大下流市場である。
二、太陽光起電力
1、透明導電性酸化物層:ITO/IZOターゲット:薄膜太陽電池の電極層に用い、光電変換効率を向上させる。
酸化亜鉛ターゲット:色素増感太陽電池の導電層に応用し、光透過率と導電性を両立する。
三、半導体集積回路
1、超高純度金属ターゲット:銅、チタン、アルミニウムなどのチップ製造のための配線、接触層と障壁層、純度要求は99.9995%以上に達する。
2、化合物半導体鄒:光通信レーザ、高速検出器に用いられるリン化インジウムターゲット。
四、省エネ建材と光学部品
低放射ガラス:IZOターゲットから製造された断熱膜層は、赤外線を反射し、可視光を透過し、建築エネルギー消費を著しく低減することができる。
光学めっき膜:酸化ニッケル、二酸化チタンなどのターゲットはレンズ反射防止膜、増透膜及び装飾めっき膜に用いられる。
五、その他の分野
衛生器具:チタンターゲットは人工関節の表面コーティングに用いられ、生体適合性を強化する。
情報格納:コバルトクロム白金合金ターゲットは磁気記録媒体に用いられる。
工具変性:タングステンカーバイドターゲットは工具耐摩耗性を向上させる。
平板ターゲットの核心的価値は、薄膜を通じて基材に電気伝導、光学、防護などの特性を付与することにあり、ハイエンド製造に不可欠な基礎材料である。